급속 중수소 열처리 시스템 및 이를 이용한 열처리 방법
IPCH10P 72/00
서지 사항Bibliography · KIPRIS
출원번호10-2024-0029983 (2024-02-29)
법적상태등록 · KIPRIS 조회일 2026-09-07
출원인충북대학교 산학협력단
발명자박준영
원문KIPRIS 원문 보기 · 10-2024-0029983
IPCH10P 72/00
어디에 쓸 수 있는가연구자 확인 문장
아래 내용은 해당 기술의 연구자가 C-TOM 분석 보고서(기업 공개본)에서 확인한 문장입니다.
웨이퍼 챔버를 유도가열로 간접 가열하고 결합면을 냉각해 중수소 열처리를 함
반응기 챔버가 열처리 대상인 웨이퍼를 수용하고 내부에 열처리 공간을 형성함해치부가 반응기 챔버의 개방면에 구비되어 그 개방면을 열고 닫음개스킷이 해치와 챔버의 결합면에서 챔버 내부 공간을 실링함개스킷 재질을 금속·합금·탄성 재질 중 하나로 고를 수 있게 함가스주입부가 챔버 내부의 열처리 대상에 중수소 가스를 직접 공급함가스주입부가 수소주입부·산소주입부·질소주입부로 나뉘어 기체를 갈아 넣음고주파 유도가열기가 반응기 챔버를 가열해 챔버 내부를 간접적으로 가열함유도가열기가 챔버 외면 둘레에 맞닿아 챔버 내부 공간을 가열함냉각부가 반응기 챔버와 해치부를 각각 냉각시킴냉각부가 해치 또는 해치와 결합되는 챔버의 결합면을 냉각시킴냉각기가 냉매를 저장·순환시키고 냉매를 냉각함냉매공급라인이 냉매를 챔버 또는 해치 측으로 보내고 냉매회수라인이 냉각기로 되돌림제1 냉매경유라인이 해치 또는 챔버 결합부 둘레를 지나 개스킷을 냉각함제2 냉매경유라인이 챔버 내부를 경유해 챔버 내부를 냉각함진공부가 진공라인·진공펌프·체크밸브로 챔버 내부에 진공을 형성함밴트부가 밴트라인·밴트밸브로 챔버에 대기압을 만들거나 중수소 가스를 외부로 뺌진공라인과 밴트라인의 하류가 하나의 하이브리드라인으로 병합됨그 하이브리드라인이 해치부에 형성된 하이브리드배출구에 연결됨열처리 방법이 밴트라인 개방으로 챔버에 대기압을 만드는 단계로 시작함열처리 대상을 챔버에 로딩한 뒤 챔버 내부를 진공 상태로 유지함챔버 내부에 중수소 가스를 주입하고 가열부를 구동해 챔버 내부를 가열함열처리 후 챔버 내부의 중수소 가스를 배출하고 열처리 대상을 언로딩함가열 단계 이후 냉각부를 구동해 챔버의 해치부 영역을 냉각시키는 단계를 둠언로딩 단계 이후 챔버 내부를 다시 진공 상태로 유지하는 단계를 둠
어닐링 장비 제조사에 넘기는 유도가열 챔버 모듈
산업반도체 장비 제조
구매자반도체 열처리 장비 제조사의 개발팀 (신규 기종 개발비와 부품 구매 결정 주체)
해결 문제저항가열 방식으로 챔버 전체를 데우는 기존 기종은 승온과 강온에 시간이 걸려, 장비를 파는 자리에서 처리량을 두고 밀림
확인된 근거 문장
국가R&D에 반도체 구조 결함 개선용 중수소 고압 어닐링 장비 개발 과제가 편성되어 있음
장비 제조사 대상 장치항 실시권 이전과 공동개발
산업반도체 장비 제조
구매자열처리 장비를 만들어 파는 국내 장비 제조사의 사업기획팀 (기술도입과 로열티 결정 주체)
해결 문제중수소 고압 어닐링 장비 수요가 생겨도 자체 설계를 처음부터 세우려면 개발 기간이 길고, 실링과 냉각에서 같은 시행착오를 되풀이하게 됨
확인된 근거 문장
국가R&D에 반도체 구조 결함 개선용 중수소 고압 어닐링 장비 개발 과제가 편성되어 있음
열처리 장비 국산화 과제의 실증 설비
산업반도체 소재부품장비 국산화
구매자장비 국산화 국가R&D를 수행하는 기업 컨소시엄의 과제책임 조직 (개발비와 실증 설비 구축 결정 주체)
해결 문제중수소 고압 어닐링 장비를 국산화하려 해도 고압 유지와 실링 내구성에서 막혀, 과제 기간 안에 실증 단계까지 밀어 올리지 못함
확인된 근거 문장
국가R&D에 중수소 고압 어닐링 장비를 국산 기업이 개발하는 과제가 편성되어 있음
응용분야 탐색 보고서 · 기업 제공본
이 기술이 어디에 쓰일 수 있는가를 탐색한 결과를 HTML 한 장으로 드립니다 — 한 문장 정의 · 기능 · 응용 후보의 영역 배치 · 연구자가 확인한 문장.
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