반도체 소자 제조방법 및 반도체 소자
산업분류261 반도체 제조업
IPCH10D 48/00외 3
서지 사항Bibliography · KIPRIS
출원번호10-2023-0018000 (2023-02-10)
공개번호1020240125798 (20240820)
등록번호1029096740000 (20260105)
법적상태등록 · KIPRIS 조회일 2026-09-07
출원인충북대학교 산학협력단
발명자박준영
원문KIPRIS 원문 보기 · 10-2023-0018000
IPCH10D 48/00H10D 30/60H10P 95/90외 1개
산업분류(KSIC)
261 반도체 제조업
응용분야 탐색 보고서 · 기업 제공본
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